|
فهرست مطالب :
خواص مكانيكي لايه ها
تركيب عمومي (طرح عمومي)
2-5) تكنيك هاي تجربي
الف) اندازه گيري تنش و كرنش
ب) اندازه گيري شكست كرنش:
3-5) فشاري كه تبخير گرمايي در لايه ها ايجاد مي‌كند:
4-5) رفتارهاي كشسان و قالب پذيري لايه ها
بررسي كنش و رفتار مكانيكي مواد:
1- مدارهاي منسجم ميكروالكترونيكي:
2- تنش در ساختار مدارهاي منسجم:
1-3- فرايندهاي شكست در مدارهاي منسجم و زيركارهاي آنها:
2-3- صفحه هاي مغناطيسي:
1-4- روش هاي اندازه گيري تنش هاي لايه نازك:
1-1-4 تفريق اشعه ايكس
2-1-4 تداخل نوري:
3-1-4 اسكن ليزري:
2-4 بررسي تغيير شكل الاستيك و پلاستيك در لايه هاي نازك بر روي زيركار:
3-4 تغييرات زير ساختاري در لايه هاي نازك بر روي زيركار:
بخش هایی ازابتدای محصول:
خواص مكانيكي لايه ها
تركيب عمومي (طرح عمومي)
رفتار مكانيكي لايه ها از دو ديدگاه اصلي داراي اهميت است. در اصل، مطالعه و فهميدن چنين رفتارهايي ميتواند منجر به درك بهتر ما از خواص تودة مواد شود. در عمل كار رضايت بخش بسياري از قطعات لايه اي به شكل و ترتيب قرار گرفتن لايه هاي پايدار- كه ميتوانند در برابر تاثيرات محيط زيست تاب بياورند- بستگي بحراني دارد.
مانند خيلي از خواص ديگر لايه ها، خواص مكانيكي لايه ها هم به چند تايگي معمولي فاكتورهاي وابسته در آماده سازي آنها بستگي دارد. به دليل مشكلات تجربي و محدوديت هاي موجود در آزمايشها، اكثريت كار انجام شده روي خواص مكانيكي روي لايه هاي چند بلوري انجام گرفته و اين به خاطر ساختار مختلط بيشتر لايه ها است. مطالعاتي دربارة برآراستي لايه ها انجام شده، اما طبيعت اندازه گيري دقيق، كه مستلزم استخراج اطلاعات خواص مكانيكي است، و عدم قطعيت مشكلاتي را در اين مطالعات ايجاد مي‌كند.
بيشتر مطالعات انجام شده دربارة لايه هاي فلزي بوده اند و به مواد دي الكتريك كه در قطعات الكتريكي و اپتيكي گوناگون اهميت دارند نيز توجه شده است. اندازه گيري ها شامل فشار (تنش) و كرنش، خزش، رفتار قالب پذيري و نرمي، قدرت شكست و در پايين ترين سطح و كمترين حد شامل سختي ميشوند. مدلهاي تئوري گوناگوني پيشنهاد شده اند كه اگرچه در اين مرحله حتي در جزئيات با تجربه توافق دارند ولي آنها را در نظر نمي گيريم. با وجود اين، يك اصول عمومي وجود دارند كه به عنوان راهنما براي كارهاي بعدي بكار گرفته ميشوند.
وقتي لايه ها با تبخير گرمايي، يا با تجربه بخار روي يك بستر گرمايي، شكل مي گيرند، آنگاه اگر ضريب انبساط لايه ها و بستر گرمايي يكسان باشد وقتي سيستم تا دماي اتاق سرد مي شود، يك فشار گرمايي ايجاد شده و پيشرفت مي‌كند. اين اثر- كه در بسياري از موارد اتفاق مي افتد- خودش را به شكل جداسازي لايه ها از سطح به وضوح نشان ميدهد. در حقيقت هنگامي كه بستر گرمايي در دماي اتاق است، فشار گرمايي ذخيره شده در لايه هاي رسوبي رابا هيچ وسيله اي نمي توان آشكار كرد. دمايي كه لايه ها در آن شكل مي گيرند، از آنجايي كه مفهوم بد تعريفي است، ممكن است با دماي بستر گرمايي تفاوت داشته باشد. مخصوصا وقتي كه اتمهاي چگاليده با يك سرعت بالاي گرمايي وارد ميشوند: اثر «دما»ي لايه هاي چگاليده به عاملهاي تعادل كه گرماي مادة چگال را كنترل مي‌كنند بستگي دارد و اين عاملها معمولاً به سختي قابل تشخيص هستند. قستمي از دماي سطح بستر گرمايي توسط تابشهاي دريافت شده از منبع تعيين ميشود و قسمتي از آن را گرماي نهاني كه توسط لايه هاي چگاليده داده شده تعيين مي‌كند. وقتي ضخامت لايه هاي فلزي افزايش پيدا مي كند، كسر بزرگي از انرژي گرمايي كه از بستر گرمايي تابش مي كند ممكن است بازتابيده شود. بعلاوه وقتي ثابتهاي اپتيكي لايه هاي بسيار نازك با ضخامت به سرعت (و اغلب با رفتاري بسيار پيچيده) تغيير مي‌كنند اين اثر به دشواري قابل تشخيص است. قبل از بحث كردن دربارة جزئيات اين اثر، ميپردازيم به روشهاي تجربي اي كه براي مطالعه خواص مكانيكي لايه هاي نازك به كار مي روند.
|
پروژه و پایان نامه
